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三氯氢硅中的B、P杂质若何有用去除,到达B≤0.02PPb,P≤0.2PPb?

项目编号:XP383C955D36388

项目状态:已宣布

项目分类: 非金属研发指导

所在地:江苏 / 扬州

需求内容:

    我公司主要临盆高纯硅。现临盆中面临的效果是三氯氢硅中的B、P杂质若何有用去除,欲望能到达B≤0.02PPb,P≤0.2PPb?迎接专家与我们睁开技偶协作,细节面议。

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